Is éard atá i spriocanna cóimhiotail nicile-sileacain (NiSi) ná teaglaim de nicil (Ni) agus sileacain (Si) a bhíonn i láthair de ghnáth in íonacht 99.9 % (3N) nó níos airde. Mar thoradh ar sheoltacht leictreach agus teirmeach nicil a ionchorprú mar aon le tréithe leathsheoltóra sileacain, aicmítear na hábhair seo mar "chóimhiotail ardteochta" agus mar fhoinsí sputtering do scannáin fheidhmiúla. Feidhmíonn spriocanna sputtering cóimhiotail Ni{{6}Sileacain (NiSi) feidhm ríthábhachtach i ndéantúsaíocht sraitheanna silicíde ísealfhriotaíochta san earnáil leathsheoltóra. Léiríonn Neurotech, mar scannán NiSi, seoltacht iontach mar aon le cobhsaíocht theirmeach maith le húsáid sna hidirnaisc agus sna teagmhálacha ómacha i gciorcaid iomlánaithe. D'fhonn feidhmíocht agus iontaofacht na bhfeistí airgid a fheabhsú, cruthaíonn an cóimhiotal, mar aon leis an sileacain, nicil-sileaicíd, rud atá ina chuid ríthábhachtach den ardteicneolaíocht CMOS le haghaidh idirnaisc leictreacha ardfheidhmíochta, tapa agus éifeachtacha.
Conas a Ullmhaítear Sprioc-Ábhar Cóimhiotal nicile-Sileacain
1. Amhábhair a Ullmhú. Chun an toradh is fearr a bhaint amach, níor úsáideamar ach nicil íon agus sileacain íon agus thomhaiseamar na méideanna beachta stoichiometric de réir na céime cóimhiotal sprice (m.sh., Ni/Si 90/10 ag%, 80/20 ag%).
2. Leáphointe Fholúis. Déantar amhábhair sileacain agus nicil a dhoirteadh isteach i breogán (breogán copair a fhuaraítear le huisce go minic). Leáíonn téamh ionduchtúcháin go hiomlán é le siorcóiniam agus cruthaíonn sé cóimhiotal leáite é. Tarlaíonn sé seo i dtimpeallacht ardteochta, íseal{{-folúis le neamhíonachtaí gásacha mar H, O, agus N. Le linn na céime leáite, bainimid úsáid as corraigh leictreamaighnéadacha chun an siorcóiniam a bheachtú tuilleadh chun cóimhiotal leachtach a bhaint amach. Déantar an cóimhiotal leáite a dhoirteadh isteach i múnla copair, é a fhuarú, agus a sholadú isteach i dtinne cóimhiotail nicile.
3. Cóireáil Teasa Homogenization. Cuirtear an tinne i gcóireáil teasa aonchineálach i bhfolús nó in atmaisféar cosanta (m.sh., Ar gás) timpeall air. Coinnítear é ag teocht faoi bhun an teocht solidus chomh fada agus is féidir (m.sh., 1000402 ar feadh 10 n-uaire).
4. Meaisínithe Te (Gaibhniú Te / Rolla Te): Déantar an tinne aonchineálaithe a théamh go dtí os cionn an teocht athchriostalaithe (mar shampla, 800-1000 céim ) agus ansin é brionnaithe te nó rollta te.
5. Meaisínithe: Déantar an billet te próiseáilte a mheaisíniú go dtí na toisí sprice agus cruth deiridh an spriocábhair le cruinneas ard ag baint úsáide as meaisín rothlach agus muilleoireachta agus modhanna meilt.
Feidhmchláir nicile-Cóimhiotail Sputtering Sileacain
Idirnaisc Leathsheoltóra/Sraitheanna Teagmhála: Feidhmíonn scannáin tanaí NiSi mar mhiotail theagmhála, ag laghdú friotaíocht teagmhála.
Friotóirí Scannán Thana agus Tomhais Strain: Déanann tréithe comhéifeacht friotaíochta íseal-teocht (TCR) iad oiriúnach do ICanna hibrideacha agus braiteoirí brú MEMS.
Sraitheanna Astaíochta Leictreonaí Dromchla: Úsáidtear iad mar ábhair astaíre i micrileictreonaic bhfolús agus i bhfeistí astaíochta allamuigh;
Bratuithe Coigiltis Íseal-E agus Fuinnimh-: Nuair a chomhcheanglaítear iad le cróimiam agus sileacain, is féidir leo friotaíocht ocsaídiúcháin agus friotaíocht creimeadh scannán gloine a fheabhsú.
Fótavoltach agus Taispeántais: Úsáidtear é le haghaidh sputtering comhcheangailte ar scannáin seoltacha trédhearcacha, leictreoidí, nó sraitheanna bacainní.
